Oksijen üretiminde en verimli yöntem olan VPSA Oksijen Tesisleri, 7/24 çalışmaya uygun ekipman kullanılarak oluşturulmaktadır. Bir bloverin ürettiği düşük basınçlı hava önce soğutulur ve neminden ayrıştırılır. Sıcaklığı ortalama değerlere inen ve nispeten kuru hava VPSA tanklarına yönlendirilir. Tanklar içinde katmanlı yapıda aşağıdan yukarı yönlenen hava önce CO2 moleküllerinden ve nemden ayrıştırılan ilk katmandan geçer ve burada tamamen kuru hale gelir. İkinci katmanda ise yüksek verimli ve uzun ömürlü Zeolit molekülleri tarafından molekül yapısı farklılığından yararlanılarak Oksijen molekülleri ayrışır ve Azot molekülleri tutulur. En üst ve son katmanda ise akış düzenlenir ve Oksijen Gazı artık oluşmuştur. Tanklar içindeki moleküllerin her biri için belirli bir doygunluk süresi vardır, bu süre tamamlandığında taze blover havası artık diğer tanka yönlendirilir. İçi azot ve nem dolu tanklar ise vakum bloveri yardımıyla rejenerasyon sürecine girer ve atık gazlar ile nem havaya egzoz edilir. Yani iki tank birbiriyle tandem çalışır, sürekli oksijen gazı akışı sağlanır. Üretilen oksijen gazı bir tankta depolanır, uygulamanın ihtiyacına göre bir oksijen kompresörüne yönlenir ve talep olan basınca yükseltilerek tesise sağlanmış olur.
Blover ve Vakum Pompası
Roots tipi blover ve vakum pompası 0,49 kPa değerinde düşük basınç ortamı yaratmaktadır. Kompresörlü sistemlerin aksine, düşük basınçlarda çalışmanın en büyük avantajı düşük enerji tüketimidir. Bu sayede sistem ekipmanı basınçlı kap sınıfına da girmez ve fabrika içinde kolayca kurulum sağlanır.
Adsorber Tanklar
Tanklar içi 3 katmandan oluşmaktadır. Her bir katmanda bulunan moleküller dünyaca ünlü firmalar tarafından üretilmektedir. Ortalama bir sistemde adsorbent moleküller 10 yıl çalışma ömrüne sahiptir.
Oksijen Kompresörü
Sistemin ana hava kaynağı bir blover olması nedeniyle düşük basınçlarda çalışma ortamı sağlanır. Buna bağlı olarak üretilen oksijen gazı yaklaşık 0,4bar basınca sahiptir. Farklı uygulamalardaki basınç taleplerini karşılamak için ilave oksijen kompresörü kullanmak gerekir. Oksijen kompresöreleri 0,4 bar basınçtaki gazı 1,3bar, 2,5bar, 8-10 bar veya 40 bara kadar basınçlandırabilmektedir. Oksijenin yakıcı özelliği nedeniyle bu kompresörler yağsız ve pistonlu tip seçilmektedir. Her tesiste en az 1 asıl ve 1 yedek kompresör uygulanır.